宏-微操作结合的自动微装配系统

摘要：

介绍了一类具有宏-微尺度结合特点的操作对象,对该类型操作对象的操作任务进行了分析.开发了用于PMMA微流控芯片批量化生产的微对准自动装配系统,该系统采用基于显微视觉图像分析的分视场对准机理.系统的主要硬件构成包括机械本体、视觉单元、4-DOF精密定位单元和全自动气动辅助单元.介绍了系统的控制结构.提出针对标记图像的对准精度测量方法,通过实验得到系统的对准精度为2.9μm.该系统可以高效、可靠地完成PMMA微流控芯片的微对准装配.

关键词：微装配、微流控芯片、对准精度、分视场

所属期刊栏目：16

分类号：TP242.6(自动化技术及设备)

资助基金：国家自然科学基金2002AA404460;2004AA404260;中国科学院资助项目50475002;国家"211"工程建设项目;国家学科建设项目

在线出版日期：2005-12-29（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共6页

页码：2125-2130