通用型高温压阻式压力传感器研究

摘要：

针对石油化工等领域高温下压力测量的要求,设计了压阻式压力传感器硅芯片,采用SIMOX 技术SOI晶片,在微加工平台上制作了硅芯片.对不同的用户工况设计了装配结构,采用耐高温封装工艺,研究了耐高温微型压力传感器封装材料匹配与热应力消除技术,解决了内外引线的技术难点.从低成本、易操作性出发,设计了温度系数补偿电路,研制了精度高、稳定性佳的耐高温通用压力传感器.

关键词：高温压力传感器、SIMOX、耐高温封装、补偿电路

所属期刊栏目：16

分类号：TP212.12(自动化技术及设备)

资助基金：国家科技攻关项目2002AA404470;国家传感器技术科技攻关项目96-748-02-01/07;浙江省科技攻关项目2005C31048

在线出版日期：2005-11-24（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共4页

页码：1795-1798