基于MEMS的医用雾化微喷研究

摘要：

介绍了一种基于MEMS技术的雾化微喷的设计、仿真、加工和实验结果.该微喷以压电效应为驱动方式,通过压电片振动所产生的压力使液体从阵列微喷孔中喷出,所产生的液滴直径和速度分布集中,无热效应,不会破坏药液的物理和化学特性.通过有限元仿真分析了微喷液体腔内压力波的分布,并根据仿真结果优化了微喷孔的布置.实验结果表明,该微喷所产生的液滴平均直径15μm,平均速度3m/s.

关键词：MEMS、雾化吸入疗法(IDT)、微喷、压力波

所属期刊栏目：16

分类号：TH789(仪器、仪表)

资助基金：国家高技术研究发展计划863计划2003AA404170

在线出版日期：2005-11-10（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共4页

页码：1693-1696