拉曼光谱应用于硅微悬臂梁的应力特性测试

摘要：

介绍了一种基于拉曼光谱频移来实现微结构应力测试的方法.利用该方法,实现了怂标准体硅腐蚀工艺形成的八梁支撑的微悬臂梁中应力分布的测试.测试结果表明:EPW体硅腐蚀形成的梁-质量块系统中梁与质量块上存在40～160MPa的张应力,微梁上的残余张应力平均达到100MPa;对微结构上的不同位置,边缘的残余应力普遍要比中心位置的大一些.

关键词：微结构、应力、拉曼光谱、悬臂梁、质量块

所属期刊栏目：16

分类号：TH11

资助基金：国家高技术研究发展计划863计划2004AA404040

在线出版日期：2005-09-15（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共4页

页码：1292-1295