驱动信号与微波信号物理隔离的RF MEMS开关的研究

摘要：

针对MEMS开关在宽带应用时遇到的驱动信号与微波信号间的干扰问题,论述了驱动信号与微波信号物理隔离的多种开关的设计,分析了4种结构形式的MEMS开关,使用IntelliSuite 软件进行开关机电耦合分析.在开关总的结构尺寸确定的前提下,使用ADS/Momentum场分析软件,微调膜桥和梁的结构参数,通过通孔接地实现微带线与CPWG信号的连接,通过驱动电极的结构和连接方式及与微波信号线间隙的调整,实现了MEMS开关整体性能的优化.

关键词：MEMS开关、隔离、机电耦合、电磁场

所属期刊栏目：16

分类号：TN405(微电子学、集成电路（IC）)

资助基金：国防重点实验室基金51485020603DZ6502

在线出版日期：2005-09-15（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共5页

页码：1254-1258