反射面平动式光栅光调制器的实现及机电特性分析

摘要：

提出了一种新型的光栅光调制器(GLM),它由可动平板阵列和固定光栅构成,通过可动平板的垂直运动,达到调制光束的目的.为验证该结构实现的可能性,得到器件的机电特性,根据微梁的力学理论进行了电力学理论分析,通过Coventor仿真软件进行了有限元仿真.分析表明,该器件所需驱动电压为16V,无明显的迟滞现象,可动平板的有效衍射面积较大,易于实现面阵结构,提高了光学衍射效率.

关键词：MEMS、光栅光调制器、多层梁、弹簧振子

所属期刊栏目：16

分类号：TH741.5;TH703.8(仪器、仪表)

在线出版日期：2005-09-15（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共4页

页码：1251-1253,1262