平面三自由度微动工作台的输入耦合分析

摘要：

基于线性分析理论,建立了柔性铰链式平面三自由度精密定位平台的分析模型;提出了一种计算该类工作台输入耦合的线性求解方法,该方法具有求解简便和计算量小等优点;针对微动工作平台的特点建立了有限元分析模型,通过有限元仿真,验证了线性法的正确性;讨论了有关参数对工作台输入耦合的影响程度,给出了对输入耦合有较大影响的设计参数.研究结果对设计低耦合输入微动工作平台具有指导意义.

关键词：柔性铰链、微动工作台、输入耦合、有限元

所属期刊栏目：16

分类号：TH112.5

资助基金：国家自然科学基金50375051;教育部科学技术研究项目104149;广东省自然科学基金036548;教育部优秀青年教师资助计划

在线出版日期：2005-04-07（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共4页

页码：337-340