10.3321/j.issn:1004-132X.2005.03.006
新型冲击驱动器及其在扫描隧道显微镜中的应用
提出了一种基于压电陶瓷的新型冲击式微位移驱动器,该驱动器利用摩擦力和惯性原理使目标产生步进式的微位移.其特点是最小位移可达几纳米,并在几纳米至几微米之间连续可调,运动范围几乎不受限制,具有实用的运动速度,系统结构简单,操作与控制方便,因而可能在微纳米技术中得到广泛应用.阐述了该驱动器的工作原理和机构设计,给出了它在扫描隧道显微镜中用于探针-样品间的自动定位控制的应用实例,得到了理想的结果.
新型冲击驱动器、摩擦力和惯性、扫描隧道显微镜、定位控制
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TH703.8(仪器、仪表)
2005-03-17(万方平台首次上网日期,不代表论文的发表时间)
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