一种高精度原子力显微镜的设计及应用

摘要：

简述了重庆大学研制的原子力显微镜(AFM)样机的工作原理和应用,重点介绍了其镜体的独特设计.该样机采用扫描隧道显微镜检测微悬臂的起伏,通过四维机械驱动和双压电陶瓷扫描,有效提高了扫描精度,扩大了扫描范围,简单适用的微悬臂使操作大大简化.给出了用该机检测到的具有代表性的4种样品的表面形貌图.

关键词：原子力显微镜、扫描隧道显微镜、镜体、微悬臂

所属期刊栏目：15

分类号：O562.2(分子物理学、原子物理学)

在线出版日期：2004-12-23（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共3页

页码：1909-1911