微机电系统集成设计方法与实现技术

摘要：

针对微机电系统设计所存在的多学科交叉、周期长等问题,提出自顶向下设计与自底向上修正的双向微机电系统集成设计方法,将设计流程分为系统级、器件级和工艺级三个阶层;以微惯性器件为典型对象研究了各阶层的关键实现技术,并在此基础上构建微机电系统集成设计平台;所进行的硅微加速度计设计实例说明平台的设计流程可行,同时平台所具有的系统级、器件级和工艺级的多设计入口以及各阶层的全参数化驱动设计功能可提高微机电系统设计的效率.

关键词：微机电系统、集成设计、设计平台、系统级、器件级、工艺级

所属期刊栏目：15

分类号：TH-39;TP391.9

资助基金：国家自然科学基金50375125/50205022;国家高技术研究发展计划863计划2003AA404017

在线出版日期：2004-06-25（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共5页

页码：916-920