面向MEMS构件在线检测和三维外型测量的立体视觉系统

摘要：

开发了可用于MEMS微制造和微装配过程的一种面向MEMS构件的在线监测和三维外型测量的视觉系统.介绍了该系统的设计、结构、工作原理及实现,并讨论了立体视觉模块的一些关键技术.参考微操作系统的原理,将立体视觉技术引入MEMS构件的检测,实现了由体视显微镜和一个CCD摄像机构建光学系统的三维外型视觉测量系统.实验结果表明,该系统是一种有效的三维检测解决方案.加以少量结构改进,该系统可以用于微制造和微操作过程中对MEMS构件的在线监测和三维外型的视觉测量.

关键词：计算机立体视觉、三维外型测量、MEMS构件、微操作系统

所属期刊栏目：14

分类号：TP23;TB863(自动化技术及设备)

资助基金：国家高技术研究发展计划863计划2002AA421150

在线出版日期：2004-01-02（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共4页

页码：1936-1939