碳纳米管原子力显微镜针尖的制作研究

摘要：

研究在光学显微镜下,运用两个独立的三维工作台分别控制针尖和碳纳米管的位置,将碳纳米管吸附在传统的原子力显微镜针尖上.首先将碳纳米管粘附在导电的胶带上,然后用涂胶的针尖与其接触将碳纳米管粘附到针尖上,最后运用电蚀的方法优化碳纳米管针尖的长度,以达到高分辨率的要求.运用制作的碳纳米管针尖对硅表面的深槽进行成像,获得了传统针尖无法得到的信息.

关键词：碳纳米管、原子力显微镜、针尖长度、纳米尺度

所属期刊栏目：14

分类号：TN16(真空电子技术)

资助基金：国家自然科学基金50205006;哈尔滨工业大学校科研和教改项目HIT MD 2001 04

在线出版日期：2003-09-05（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共2页

页码：1329-1330