磁悬浮微进给机构研究

摘要：

导轨副的摩擦和磨损影响机构的进给精度,摩擦产生的金属粉尘使微进给机构不能满足超洁净制作环境要求.磁悬浮技术应用于微进给机构,可消除摩擦.结合直线电机能实现零传动的特点,分别设计了磁悬浮轴承形式和磁悬浮导轨形式的两种微进给机构,分析了它们的特点,阐明了进一步改善的方向.理论分析计算该微进给机构在垂直及水平方向的误差可控制在±1μm内,在水平方向能实现亚微米级进给精度.

关键词：磁悬浮、微进给机构、直线电机、超洁净、进给精度

所属期刊栏目：14

分类号：TH112.4

资助基金：吉林省自然科学基金20020621;中国科学院研究生科学与社会实践资助项目

在线出版日期：2004-01-08（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共4页

页码：1090-1093