入射角对激光散斑测量表面粗糙度的影响

摘要：

观察了当相干激光以不同入射角照射4个等级的平磨和外圆磨样块时记录的散斑图像中散斑强度的变化.通过分析可知对比度与表面粗糙度之间存在密切的关系,入射角又直接影响对比度,不同的入射角适合不同的加工方法和测量范围.因此找到合适的入射角可提高实验系统的精度和分辨率.

关键词：入射角、表面粗糙度、激光散斑、对比度

所属期刊栏目：14

分类号：TN247(光电子技术、激光技术)

在线出版日期：2004-01-08（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共2页

页码：563-564