10.3321/j.issn:1004-132X.2003.05.004
测试105g微阵列式加速度传感器
研究测试105g微阵列式加速度传感器的设计与制造.该传感器应用微加工技术制成,具有测试加速度值大、响应速度快等特点.应用非线性回归理论及正交试验分析方法,解决传感阵列的布阵设计;根据理论分析和试验研究,提出了8个传感器位于芯片平面内同一圆周上8等分处的布阵,给出了8点图形传感阵列的设计版图;并制造出微阵列式加速度传感器的样品,经测试满足设计要求.
传感器、加速度、传感阵列、设计与制造
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TP212(自动化技术及设备)
军事预研项目30 3 6 13
2004-01-08(万方平台首次上网日期,不代表论文的发表时间)
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