一种栅型结构微机械陀螺的研究

摘要：

介绍了一种新型结构微机械陀螺的设计及制作.新型陀螺的驱动振动和敏感检测振动的阻尼均为滑膜阻尼,且几乎相同,惯性质量块为栅型结构,由弹性悬臂梁支撑;驱动固定电极和敏感检测固定电极位于惯性质量块下方.分析了新型陀螺的工作特性,说明了陀螺结构参数对陀螺灵敏度的影响.实验结果表明,在大气状态下,新型栅结构微机械陀螺的驱动和敏感检测品质因子Q均可达到66.

关键词：微机械陀螺、动力学方程、角速度传感器、微机械加工技术

所属期刊栏目：14

分类号：V241.5;O318(航空仪表、航空设备、飞行控制与导航)

资助基金：国家重点基础研究发展计划973计划G1999033101

在线出版日期：2004-01-08（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共3页

页码：184-186