基于纳米定位的压电陶瓷执行器控制方法的研究进展

摘要：

压电陶瓷执行器在较高电场的作用下将产生严重的非线性、迟滞和蠕变,从而大大降低了它的定位精度.从控制方式、驱动方式和控制算法上,分析、总结了国内外关于纳米定位中压电陶瓷执行器的各种控制方法,进而提出:压电陶瓷执行器在静态或对频响要求不高的场合下,应采用电压驱动、电容传感器反馈并同优良控制算法相结合的控制方法;而在对频响要求较高的场合下,应采用电荷驱动、电容传感器反馈并同优良控制算法相结合的控制方法.

关键词：执行器、压电陶瓷、纳米定位、控制方法

所属期刊栏目：14

分类号：TP273(自动化技术及设备)

资助基金：国家自然科学基金69774020

在线出版日期：2004-01-08（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共5页

页码：164-168