10.3321/j.issn:1004-132X.2003.02.021
关于微机电系统研究
微机电系统是面向21世纪的新科技.由于目前尚处于开创时期,人们对它还缺乏统一的全面认识.试图对微机电系统产生的背景、组成特征、发展现状及应用前景进行全面分析.在此基础上,提出和论述了未来发展中的几个关键问题.
微机电系统、背景、特征、关键问题
14
TH-39
2004-01-08(万方平台首次上网日期,不代表论文的发表时间)
共5页
159-163
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10.3321/j.issn:1004-132X.2003.02.021
微机电系统、背景、特征、关键问题
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TH-39
2004-01-08(万方平台首次上网日期,不代表论文的发表时间)
共5页
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国家重点研发计划“现代服务业共性关键技术研发及应用示范”重点专项“4.8专业内容知识聚合服务技术研发与创新服务示范”
国家重点研发计划资助 课题编号:2019YFB1406304
National Key R&D Program of China Grant No. 2019YFB1406304
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