纳米硬度技术在表面工程力学性能检测中的应用

摘要：

结合纳米硬度技术测量各类薄膜和块体材料表层的纳米压痕硬度、弹性模量、断裂韧性、膜厚、微结构的弯曲变形,采用纳米划痕硬度技术测量各类薄膜和块体材料的粗糙度、临界附着力、摩擦系数、划痕横剖面.纳米硬度计是检测材料表层微米乃至几十纳米力学性能的先进仪器,可广泛应用于表面工程中的质量检测.

关键词：纳米压痕硬度、纳米划痕硬度、力学性能、表面工程

所属期刊栏目：13

分类号：TG174.444;O484(金属学与热处理)

资助基金：国家自然科学基金10102021,10172086;中国科学院知识创新工程项目KJCX2-SW-L2,KGCX1-11

在线出版日期：2004-01-08（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共4页

页码：2148-2151