10.3321/j.issn:1004-132X.2002.20.004
基于快速成形的MEMS微制造技术
评述了当前主要的MEMS微制造技术方法及特点,综述了基于快速成形的MEMS微制造系统的基本原理和基本结构,目前所能达到的精度与应用典型实例,微制造技术的优越性与局限性.对最新发展的每一层面一次曝光的高速快速成形MEMS微制造系统原理与研究示例进行了介绍.
快速成形、微制造、微机电系统、微细立体光刻
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TN6;TH16(电子元件、组件)
2004-01-08(万方平台首次上网日期,不代表论文的发表时间)
共3页
1721-1723