复合膜机械特性的片上测量

摘要：

结合微型隧道效应磁强计的制作,在同一个硅片上制作了与磁强计功能结构相似的两端固支梁结构,采用谐振频率法,进行复合膜机械特性的测量.通过测量不同长度的梁的谐振频率,同时得到复合膜的杨氏模量和残余应力参数.测量结果表明,以浓硼硅为主要材料的复合膜的杨氏模量和残余应力分别为120.2 GPa和-66.4 MPa.

关键词：微机电系统、机械特性、杨氏模量、残余应力、谐振频率

所属期刊栏目：13

分类号：TB302(工程材料学)

在线出版日期：2004-01-08（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共3页

页码：987-989