电致伸缩微位移装置的高精度控制方法研究

摘要：

针对电致伸缩微位移装置高精度控制的需求,研究了基于非线性迟滞模型的前馈补偿与反馈技术相结合的控制方法,对电致伸缩微位移装置进行控制,取得良好的控制效果.将其应用于柔性工作台控制系统中, 系统在跟踪正弦曲线时,跟踪误差小于5 nm.

关键词：电致伸缩微位移装置、线性化、迟滞、前馈

所属期刊栏目：13

分类号：TP271.4(自动化技术及设备)

在线出版日期：2004-01-08（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共3页

页码：201-203