改善多步法谐波抑制的新方法--鉴相法

摘要：

分析了回转基准中存在的问题和多步法误差分离技术的原理误差,提出鉴相法误差分离技术.该技术较显著地扩展了无谐波抑制范围,且使测量过程和测量系统大为简化,是建立纳米精度回转基准的一种较理想方法.

关键词：误差分离技术、鉴相法、圆轮廓、纳米级测量

所属期刊栏目：12

分类号：TH161.5

资助基金：中国科学院资助项目50075020

在线出版日期：2004-01-08（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共3页

页码：161-162