10.3321/j.issn:1004-132X.2001.06.026
纵弯式压电微电机研究
分析了纵弯式压电微电机的驱动机理,提出了电机驱动臂的设计方法.研制了直径为5 mm的纵弯式压电微电机并进行了实验研究.
纵弯式、压电微电机、驱动机理、设计规则
12
TH703.65;TM3(仪器、仪表)
国家高技术研究发展计划863计划863-512-96-08;国家自然科学基金59875009;辽宁省博士科研项目971050
2004-01-08(万方平台首次上网日期,不代表论文的发表时间)
共4页
704-706