超精密加工的三维表面形貌预测

摘要：

描述并建立了仿真超精密加工的三维表面形貌模型.三维表面形貌模型由切削参数、刀具几何形状及刀具与工件的相对运动来表征,通过将预测的表面粗糙度轮廓线性映射到网格面元上来生成已加工表面的形貌.实际的加工和测量实验表明,仿真的三维表面形貌和由激光干涉形貌仪测量得到的三维形貌具有很好的相似性.该模型可用来确定如刀具切削运动的迹线、表面波度等表面特征.

关键词：建模、仿真、表面形貌、超精密加工

所属期刊栏目：11

分类号：TH161.1

资助基金：香港理工大学校科研和教改项目

在线出版日期：2004-01-08（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共5页

页码：845-848