超精密平面磨削0.01μm微量进给装置的实验研究

摘要：

微量进给可满足可延性磨削的要求,微量进给装置采用压电陶瓷作为控制元件,通过调节空气轴承供气压力,实现超精密平面磨削0.01 μm的微进给量,实验表明该装置可用于磨床导轨误差的缓进给补偿控制中.

关键词：微量进给、分辨率、压电陶瓷、超精密平面磨削、空气轴承

所属期刊栏目：19

分类号：TG74(刀具、磨料、磨具、夹具、模具和手工具)

在线出版日期：2004-01-08（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共3页

页码：21-23