基于光纤干涉投影的子孔径拼接测量方法

摘要：

目的:针对大动态范围复杂曲面的面形检测需求,提出了一种基于光纤干涉投影的子孔径拼接测量方法.方法:通过CCD相机与干涉条纹间的关系作为子孔径划分的依据,利用光纤干涉投影测量系统采集各子孔径的面形数据,由此结合所提出的加权算法将各子孔径进行拼接来获取全口径面形.结果:仿真分析与实验验证表明,通过所提出方法获取的拼接面形连续光滑,且与全口径真实面形RM S值偏差为1.8458μm,达到了微米量级的检测精度.结论:该测量方法具有检测精度较高、动态测量范围大等特点,从而为各类复杂曲面提供了一种有效的面形检测方法.

关键词：计量、面形测量技术、光纤干涉投影、子孔径拼接、大动态范围

所属期刊栏目：32

分类号：TH741(仪器、仪表)

资助基金：国家自然科学基金;浙江省自然科学基金;浙江省自然科学基金;浙江省自然科学基金

在线出版日期：2021-07-21（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共7页

页码：154-160