基于双细锥型结构的M-Z干涉仪的光纤湿度传感器

摘要：

目的:提出一种基于双细锥型结构的M-Z干涉仪的光纤传感器,并通过分析传感器结构制作和传感原理,验证其传感性能.方法:利用特种光器件精密微加工平台(LDS2.5,3SAE Technologies,Inc/美国)制作双细锥形结构,锥形直径为40 μm,双锥间距离为2 cm,锥形渐变区域为500μm,在RH40％?80％范围内进行实验.结果:通过实验验证了在20 ℃:?95 ℃:温度范围内其最大灵敏度为208.6 pm/℃、在RH50％?70％和70％?80％的湿度变化范围内传感器的灵敏度分别为-0.019 dB/％RH、-0.055 dB/％RH.结论:双细锥形结构光纤传感器具有尺寸紧凑、结构简单、成本较低、灵敏度较髙等优点,有良好的湿度线性响应关系,可通过强度变化或者波长解调实现温湿度的测量.

关键词：马赫-曾德尔干涉、特种光器件微加工平台、双细锥形结构、光纤湿度传感器

所属期刊栏目：31

分类号：TN253(光电子技术、激光技术)

资助基金：国家重点研发计划项目;浙江省基础公益研究计划项目

在线出版日期：2021-02-03（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共4页

页码：405-408