基于激光光斑圆心偏移计算的导轨直线度测量

摘要：

提出了一种基于激光束光斑圆心位置偏移计算的导轨直线度测量方法,能够实现对导轨直线度的测量.从激光干涉仪发射出一束激光,打到安装在导轨移动靶标上的平面反射镜,激光束反射回来最终被CCD相机接收,获得光斑图像,多次等距离移动平面反射镜,采集光斑图片.利用hough变换检测图像中的光斑圆弧,提取光斑圆心像素坐标,采用黑白棋盘格标定法得到物理坐标,根据被测导轨上各测量位置获取的光斑圆心与初始位置光斑圆心的偏移量,由最小二乘法求得被测导轨的直线度误差.将实验结果与三坐标测量机的测量结果对比可知,我们提出的测量方法的测量精度为40μm,具有较高的可行性.

关键词：单频激光干涉仪、直线度、图像处理、最小二乘法

所属期刊栏目：29

分类号：TP391.4;TM930.12(计算技术、计算机技术)

资助基金：国家自然科学基金项目51476154,51404223;国家重点研发计划项目2017YFF0205501;质检公益性行业科研专项项目201410009

在线出版日期：2019-05-31（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共6页

页码：367-372