新型表面电阻测试系统研究

摘要：

针对现有防静电台面检测过程效率低、操作失误率高的问题,本文通过对检测数据采集存储、报告及合格标识自动生成等模块的研究,设计出一套新型表面电阻测试系统.该系统适用于大批量防静电台面集中检测,较传统的检测过程,省去了人工撰写原始数据、合格标识等步骤,简化了检测报告出具的方式,检测过程中可节约近30％的时间,能够极大地提高检测效率.通过为半导体生产厂家、各防静电检测机构提供行之有效的方案,解决了半导体生产单位EPA区域内大批量防静电台面检测的难题.

关键词：防静电台面、检测、表面电阻、自动化、效率

分类号：TP311.52;TP273;TN98

在线出版日期：2023-02-28（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共3页

页码：46-47,52