扫描电子显微镜测长标准物质:线宽标物与粒度标物

摘要：

@@ 扫描电子显微镜(以下简称"扫描电镜")是一种被广泛应用于材料微区形貌分析和微小尺寸测量的仪器设备.我国早在1988年就发布了JJG550-1988<扫描电子显微镜(试行)>检定规程,1996年教委又专门发布了JJG(教委)010-1996<分析型扫描电子显微镜>检定规程.开展扫描电镜的检定或校准工作,需要借助标准物质,其中包括分辨力标准物质、测长标准物质和化学成分标准物质.特别是测长标准物质,只有利用测长标准物质对扫描电镜的放大倍数进行校验后,才能用扫描电镜对微小尺寸进行技术上有效的测量.

机标关键词：扫描电子显微镜、测长、标准物质、线宽、扫描电镜、微小尺寸测量、检定规程、仪器设备、形貌分析、校准工作、教委、化学成分、放大倍数、发布、分析型、分辨力、校验、微区、技术、材料

分类号：TP2;TH7

在线出版日期：2009-06-03（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共3页

页码：79-81