10.3969/j.issn.1006-9364.2008.03.037
PTB220气压传感器在测量大气压力中的应用
@@ 一、工作原埕
PTB220感应元件采用VISALA研制的硅电容绝对压力传感器BAROCAP,是通过硅微加工而成.PTB220的工作原理是基于一个先进的RC振荡电路和三个参考电容,并且电容压力传感器及电容温度传感器连续测量,微处理器自动进行压力线性补偿及温度补偿.当得到压力变化时,硅薄膜弯曲使传感器真空室高度发生变化,导致传感器电容值发生变化.
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P4(大气科学(气象学))
2008-05-26(万方平台首次上网日期,不代表论文的发表时间)
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