PTB220气压传感器在测量大气压力中的应用

摘要：

@@ 一、工作原埕
PTB220感应元件采用VISALA研制的硅电容绝对压力传感器BAROCAP,是通过硅微加工而成.PTB220的工作原理是基于一个先进的RC振荡电路和三个参考电容,并且电容压力传感器及电容温度传感器连续测量,微处理器自动进行压力线性补偿及温度补偿.当得到压力变化时,硅薄膜弯曲使传感器真空室高度发生变化,导致传感器电容值发生变化.

机标关键词：气压传感器、连续测量、大气压力、电容绝对压力传感器、电容压力传感器、温度传感器、振荡电路、压力变化、线性补偿、温度补偿、微处理器、硅微加工、工作原理、感应元件、参考电容、真空室、硅薄膜、电容值、弯曲

分类号：P4(大气科学（气象学）)

在线出版日期：2008-05-26（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

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