10.3969/j.issn.1006-9364.2004.11.035
纳米计量光栅传感器的应用
@@ 计量光栅就是在玻璃、金属等基体上刻有密集规则线条的计量元件.我们将刻线准确度达到纳米量级的计量光栅称为纳米计量光栅,简称纳米光栅.它与传统的计量光栅相比,具有超精和超细两个特征.我国从上世纪50年代开始刻线技术的研究,其中,计量光栅技术是研究的重点.近20年来,计量光栅技术提高到了纳米量级和亚纳米量级,形成了一整套纳米光栅测量技术,并且以这套技术为依托在北京郊区建立了基地,进行大范围推广应用.
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TB9(计量学)
2005-11-03(万方平台首次上网日期,不代表论文的发表时间)
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