圆度误差的纳米测量技术

摘要：

@@ 一、引言
随着科学技术的发展,纳米测量技术在尖端产品和现代化武器制造中具有非常重要的地位.例如,静电悬浮化陀螺需要10nm或更精确的转子.为了测量如此精密零件的形状,就必须突破圆度仪主轴系统误差的制约,为此可以采用误差分离技术,即在测量结果中将主轴系统误差与零件圆度误差分离开来,从而剔除前者,进一步减小圆度仪的测量不确定度.圆度仪的结构有转台式和转轴式两种,如图a、b所示.

机标关键词：圆度误差分离、圆度仪、系统误差、纳米测量技术、测量不确定度、主轴、武器制造、精密零件、科学技术、分离技术、测量结果、转台式、现代化、转子、轴式、制约、形状、陀螺、静电、结构

分类号：O4(物理学)

在线出版日期：2005-11-03（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

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