中国激光极紫外光源及应用

摘要：

光是人类认识和改造自然的重要工具.目前,人类已获得并有效使用从太赫兹到深紫外甚至硬X射线波段的光波.极紫外(EUV)光是指波长位于10～100 nm区间的电磁波,其拥有超短波长和大量元素的吸收边,是目前研究半导体芯片背后的纳米级光刻技术必不可少的工具.早期极紫外光产生基本依赖大型电子加速器设施,如同步辐射和自由电子激光器等.

机标关键词：极紫外光源、中国激光

所属期刊栏目：50

分类号：TN23;G237.5;O434

在线出版日期：2023-10-31（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共1页

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