极紫外光刻光源驱动激光光斑高精度检测技术研究

摘要：

为了实现极紫外光刻光源驱动激光光斑位置的高精度、宽范围、快响应检测,设计了一种高重复频率窄脉冲信号多通道同步采集处理电路,并提出了基于高斯光斑模型的二级扩展误差补偿算法,可以为极紫外光刻光源驱动激光指向控制提供高精度反馈调节量.首先,介绍了光斑位置检测系统的结构组成与四象限探测器的基本检测原理;然后在考虑探测器半径、光斑半径以及沟道宽度等因素影响的前提下对误差补偿函数进行改进,并对改进的二阶扩展误差补偿算法进行了仿真分析;接着介绍了用于高重复频率窄脉宽信号的多通道同步高速采集电路;最后搭建了实验平台,对改进的算法进行验证.实验结果显示,二阶扩展误差补偿算法的均方根误差为0.0042,最大绝对误差为0.0092 mm,绝对误差的平均值为0.0034 mm;与二阶误差补偿算法相比,二阶扩展误差补偿算法的均方根误差、最大绝对误差和绝对误差的平均值分别降低了83.06％、85.28％和83.50％.表明二阶扩展误差补偿算法与二阶误差补偿算法相比,具有明显的优越性及实用性,在扩展了光斑位置检测范围的同时,光斑位置的检测精度也得到了明显的提升,解决了传统算法无法兼顾计算速度与检测精度的问题.

关键词：测量、光斑位置检测、极紫外光刻光源、高重复频率窄脉冲、CO2激光、四象限探测器

所属期刊栏目：50

分类号：TN215(光电子技术、激光技术)

资助基金：国家重点研发计划;国家自然科学基金

在线出版日期：2023-05-24（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共8页

页码：64-71