激光薄膜元件内微缺陷的表征分析

摘要：

激光系统用薄膜元件既要有优异的光学性能,又要有高的激光诱导损伤阈值(LIDT).薄膜元件的基底表面上交替沉积有高低折射率材料,通过膜厚、折射率等参数的优化可实现所需的光学性能,但元件中存在的微缺陷(如膜料喷溅缺陷、基底缺陷等)是导致LIDT降低的重要原因.通过精准定位切割、三维重构的方法,表征膜料喷溅和基底抛光产生的微缺陷的形貌结构,并对其激光辐照前后的元素分布进行了分析.研究结果为镀制工艺、基底加工工艺的改进提供了参考.

关键词：薄膜、激光损伤、微缺陷、喷溅、基底抛光

所属期刊栏目：50

分类号：O439(光学)

资助基金：国家自然科学基金61975215

在线出版日期：2023-05-24（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共7页

页码：50-56