大功率射频板条CO2激光器

摘要：

大功率射频板条CO2激光器曾经是深熔焊接、切割的主力光源,目前主要用于超大规模集成电路晶圆退火.华中科技大学于2007年就开始了大功率射频板条CO2激光器的研发,并进行大量的理论研究和产业化工作.本文介绍了射频板条CO2激光器的国内外发展动态;重点分析了激光器的结构设计、(板条)面积放大、扩散冷却、激励电源、射频传输、阻抗匹配、射频气体放电等离子体、放电均匀性、电极热效应、非稳-波导混合腔、激光功率提取、输出光束特性、光束整形等核心技术;展望了射频板条CO2激光器在超大规模集成电路晶圆激光退火中的重要创新应用.

关键词：激光器、大功率射频板条CO2激光器、扩散冷却、非稳-波导混合腔、光束整形、射频激励、气体放电

所属期刊栏目：49

分类号：TN248.2(光电子技术、激光技术)

在线出版日期：2022-07-29（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共14页

页码：79-92