结构锡靶激光等离子体极紫外光辐射特性研究

摘要：

开展结构Sn靶激光等离子体极紫外光辐射特性研究,对波长为1064 nm的脉冲激光等离子体产生的极紫外光谱进行研究.实验结果表明,当激光能量为500 mJ,结构靶凹槽深度为100 μm、宽度为300 μm时,结构靶凹槽产生13.5 nm(2％带宽)带内光辐射积分强度的增强倍率约为平面靶的1.57倍.同时发现,凹槽对激光等离子体膨胀具有抑制作用,导致不同凹槽宽度产生最佳增强倍率所对应的激光能量不同.研究聚焦光斑尺寸对结构靶产生极紫外光辐射的影响.实验结果表明,当聚焦光斑直径与凹槽宽度接近时,凹槽的13.5 nm(2％带宽)带内光辐射积分强度的增强倍率最高.此项研究对提高极紫外光辐射强度及转换效率具有重要意义.

关键词：光谱学、极紫外辐射、激光等离子体、结构靶、光刻光源

所属期刊栏目：48

分类号：O434.13(光学)

资助基金：国家自然科学基金;吉林省科技发展计划

在线出版日期：2021-10-22（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共7页

页码：43-49