纳米操作技术研究及应用进展

摘要：

纳米操作技术是实现纳米材料位移、排布、形变等操作的关键方法,也是一种"自下而上"制造性能优异的纳米结构及纳米电路的重要技术手段,同时也为新型纳米器件的研发提供了新思路.本文主要对基于扫描探针显微镜、电子显微镜的纳米操作技术以及光镊技术的研究进展进行了介绍及总结,简单阐述了三种操作技术的基本原理及特点,并在此基础上分析了不同操作技术存在的问题,介绍了几种典型的操作系统和操作策略的改进方法,进一步概括了三种操作技术在纳米材料测试及器件制造中的应用.最后针对三种操作技术的优势、适用范围以及目前仍存在的问题进行分析与总结,探讨了三种操作技术的适用范围,并对不同操作技术的结合进行了展望.

关键词：激光光学、光镊或光操作、纳米操作、扫描探针显微镜、电子显微镜、纳米器件

所属期刊栏目：48

分类号：TN492(微电子学、集成电路（IC）)

资助基金：国家重点研发计划;中国博士后科学基金;中国博士后科学基金面上项目

在线出版日期：2021-06-22（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共15页

页码：196-210