飞秒激光辐照连接金属氧化物纳米线及电性能调控

摘要：

采用干法转移方法制备Au电极-CuO/ZnO纳米线异质结构,通过飞秒激光辐照,基于表面等离子激元的能量局域化输入实现了异质结构的纳米连接,改善了异质结构界面的接触状态,促进了载流子传输通道的导通.辐照前后的电学测试结果表明,激光处理后p型和n型纳米线场效应管的背栅调控性能有明显提升.当栅极电压达到±20 V后,二者的电流有明显的夹止趋势.此外,基于CuO和ZnO纳米线的p型和n型场效应管特性,制备了一种p CuO/n-ZnO纳米线半导体倒相器.结果 表明,激光辐照后的倒相器具有稳定的电压调控能力,为自下而上的微纳电子器件组装提供了新思路.

关键词：激光制造、飞秒激光、异质结构、纳米连接、微纳器件

所属期刊栏目：48

分类号：TB383(工程材料学)

资助基金：国家重点研发计划;国家自然科学基金;国家自然科学基金;国家自然科学基金

在线出版日期：2021-06-22（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共9页

页码：68-76