前言

摘要：

微电子元器件及其系统越来越广泛地应用于信息、航空航天、深空探测、机械、交通、能源、生物、医疗等领域,并伴随集成电路、微纳制造、新型材料等高新科学技术的发展,迅速向微型化甚至纳米尺度、多功能、高功率、多材料应用、复杂三维结构等方向发展.微纳尺度的材料连接即"微纳连接"是微电子元器件及其系统性能,特别是严苛条件下服役可靠性的关键制造环节和核心技术.

所属期刊栏目：48

资助基金：国家重点研发计划2017YFB1104900

在线出版日期：2021-06-22（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共3页

页码：封2,1-2