透明介质材料的超快激光微纳加工研究进展

摘要：

透明介质材料具有高透光性、高耐热性和良好的耐腐蚀性,被广泛应用于航空航天、微电子器件和光学元件等领域,这些应用对透明介质材料微纳加工的精度与质量提出了一定的要求.超快激光具有超高的峰值强度与超短的脉冲持续时间,可突破衍射极限并极小化热影响区,具有出色的加工精度与加工质量,为透明介质材料的微纳尺度加工提供了多样化的手段.综述了透明介质材料的超快激光微纳加工研究进展,包括超快激光加工透明介质材料的内部结构、相关机理和应用领域三个方面,并对透明介质材料的超快激光微纳加工进行了总结与展望.

关键词：激光技术、超快激光、透明介质材料、微纳加工、折射率变化、纳米光栅、纳米孔洞

所属期刊栏目：48

分类号：TN249(光电子技术、激光技术)

资助基金：国家重点研发计划;国家自然科学基金;国家自然科学基金

在线出版日期：2021-04-02（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共15页

页码：301-315