激光微纳制造在传感领域中的应用

摘要：

物联网和可穿戴器件的快速发展对传感器的制备和性能提出了更高的要求.由于加工速度快、精度高、可控性强、易集成、与材料兼容性高等优点,激光微纳制造已逐渐成为一种流行的材料制备和器件加工技术.通过激光诱导加热、反应和分离这三种激光加工方式实现了对不同材料的激光处理,这为传感器的制备奠定了基础.近年来,研究人员利用激光微纳加工技术制备了应用于紫外线、气体、湿度、温度、应变/应力、生物、环境等信号监测的不同传感器.总结和归纳了目前存在的问题,展望了激光微纳制造在传感领域中的发展方向.希望文中对激光微纳制造应用于传感领域的介绍和总结能够为未来的研究和发展提供思路和参考.

关键词：激光技术、激光-材料相互作用、微纳制造、功能性、传感器

所属期刊栏目：48

分类号：TN249(光电子技术、激光技术)

资助基金：国家重点研发计划;国家自然科学基金;国家自然科学基金;国家自然科学基金

在线出版日期：2021-04-02（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共34页

页码：203-236