玻璃表面嵌入式亚微米金属线的制备

摘要：

提出了一种在玻璃表面制备嵌入式亚微米金属线的方法.首先利用飞秒激光直写技术在玻璃表面烧蚀出亚微米线宽的凹槽,然后采用连续流化学镀工艺在样品表面沉积金属薄膜,再经过热处理和机械抛光,可实现玻璃表面嵌入式亚微米线宽金属结构的可控制备.将飞秒激光烧蚀的阈值效应与连续流化学镀相结合,可制备出最小线宽约为0.66 μm的金属银线.四探针法测试结果表明,制备的亚微米金属银线具有良好的导电性,其电阻率约为体积银电阻率的1.2倍.

关键词：激光技术、飞秒激光烧蚀、石英玻璃、阈值效应、连续流化学镀、亚微米金属线

所属期刊栏目：47

分类号：TN249(光电子技术、激光技术)

在线出版日期：2020-07-07（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共6页

页码：391-396