阵列波导光栅解复用器的偏振相关损耗的优化

摘要：

对硅基二氧化硅阵列波导光栅解复用器(AWG DEMUX)的偏振相关损耗(PDL)进行了优化.理论分析了引起AWG偏振相关性的物理因素以及消除偏振相关性的工艺方法和条件.利用化学气相沉积、光刻和刻蚀等半导体工艺制备了AWGDEMUX芯片,并结合理论分析对包层材料中的硼(B)、磷(P)含量进行了优化调整,成功地将芯片的PDL降低至0.12 dB,使PDL参数满足芯片的商用化需求.

关键词：光通信、阵列波导光栅、解复用器、偏振相关损耗

所属期刊栏目：47

分类号：TN256(光电子技术、激光技术)

在线出版日期：2020-05-11（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共5页

页码：227-231