基于叠层扫描成像技术的成像透镜透射波前测量方法

摘要：

将叠层扫描成像技术(ePIE)用于成像透镜透射波前的高精度测量.将透镜的透射光束照射至一个固定于二维扫描台的衍射物上,并在其后的探测器上形成衍射光斑,扫描台横向扫描并记录衍射物在每个位置所形成的衍射光斑,采用ePIE精确重建衍射物体的光场复振幅,并据此反演出透镜后表面的透射光波前;移去透镜后重复上述步骤,可以重建入射到透镜上的光束波前;将透射波前减去入射波前即可得到透镜的透射波前.该方法具有准确性高、结构简单、成本低廉等优点.

关键词：测量、透镜透射波前、叠层扫描成像技术、衍射成像、波前重建

所属期刊栏目：46

分类号：O436(光学)

资助基金：国家自然科学基金;国家自然科学基金;江苏省自然科学基金;江苏省自然科学基金

在线出版日期：2019-09-25（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共7页

页码：131-137