室温脉冲激光沉积法合成Bi3.95Er0.05Ti3O12薄膜及其介电性能研究

摘要：

采用脉冲激光沉积法,室温条件下在透明导电玻璃衬底上制备了Bi3.95 Er0.05Ti3O12(BErT)薄膜.研究结果表明,低沉积氧气压下制备的BErT薄膜表面致密,平整无裂缝,且呈非晶结构;当沉积氧气压为3 Pa时,BErT薄膜厚度约为180 nm,表现出优秀的介电性能,即当测试频率为1 kHz时,室温介电常数为52,介电损耗为0.025.同时,BErT薄膜的介电性能随频率、电压和温度的变化比较稳定,在可见光区间具有较高的透过率.

关键词：激光技术、薄膜、脉冲激光沉积、室温、介电性能

所属期刊栏目：45

分类号：O484(固体物理学)

资助基金：中山大学新华学院科研基金项目;教育部新工科研究与实践项目

在线出版日期：2018-11-02（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共5页

页码：212-216