光栅横向剪切干涉仪系统误差的校正方法

摘要：

针对光栅横向剪切干涉仪研究了旋转绝对检测的方法, 并用前36项Zernike多项式标定出剪切装置的系统误差非对称项.研究结果表明, 将面形检测的绝对算法应用于检测镜头系统波像差, 在干涉仪系统误差消除后可以达到相对理想的检测精度.实验数据的重复性的均方根可以达到0.14nm.

关键词：测量、光刻镜头、绝对检测、光栅横向剪切干涉仪、系统波像差

所属期刊栏目：45

分类号：O436(光学)

资助基金：国家科技重大专项2009ZX02005

在线出版日期：2018-10-10（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共6页

页码：175-180