基于复振幅调制的半导体激光光束整形方法

摘要：

为了改善半导体激光光束质量,使其能够满足大距离高精度干涉测量的要求,使用空间光调制器对半导体激光光束进行整形,提出了一种基于复振幅调制算法的光束整形方法.利用该方法可将半导体激光光束整形为准直性好、光强分布均匀的无像散基模高斯光束.通过光束质量分析对整形后的光束进行评估,实验结果显示整形后半导体激光光束在x和y方向的M2因子均趋于1,像散接近于0,验证了该光束整形方法的有效性.将提出的半导体激光光束整形方法应用于大距离干涉测量中,在8 m处进行了微米级步进位移测量,与纳米位移工作台相比,所得结果达到了亚波长的测量精度.实验结果表明整形后的光束能够满足大距离高精度干涉测量的要求,验证了提出的半导体激光光束整形方法的可行性.

关键词：激光光学、半导体激光器、激光光束整形、空间光调制器、复振幅调制

所属期刊栏目：45

分类号：TH741(仪器、仪表)

资助基金：国家自然科学基金51527807

在线出版日期：2018-09-13（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共8页

页码：147-154